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產品分類

CIF等離子處理系統

CIF等離子清洗機F系列

CIF 推出的新一代科研型等離子清洗設備,合理的結構設計,優化的腔體尺寸,使得處理樣品更大,適用范圍更廣。CIF等離子清洗機F系列性能穩定,操作簡單方便,易維護。
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產品概述 技術參數 產品視頻 應用領域 下載中心 產品報價

產品概述

◆ ?7 寸彩色觸摸屏中英文互動操作界面,自動控制監測工藝參數狀態,20 個配方程序,工藝數據可存儲追溯。

◆ ?PLC 控制整個清洗過程,手動、自動兩種工作模式。

◆ ?CIF等離子清洗機F系列用美國德威爾(Dwyer)氣體浮子流量計或質量流量計 ?(CPC-FM),可輸入氧氣、氬氣、氮氣、氫氣或混合氣等氣體,氣體控制精準。

◆ ?氣體返填吹掃,HEPA 高效過濾,防止二次污染。

◆ ?316 不銹鋼、石英真空艙可選擇,全真空管路系統采用316 不銹鋼材質,耐腐蝕無污染。

◆ ?采用 60 度傾角操作面板設計,符合人體功能學,操作方 便,界面友好。

◆ ?上控制下艙體結構設計,結構緊湊,占地空間小。

◆ ?內凹式前面板設計,有效保護流量計和艙門不易損壞。

◆ ?CIF等離子清洗機F系列處理快速高效均勻,無污染,工藝重復性好。

◆ ?樣品處理溫度低,無熱損傷和熱氧化。

◆ ?安全保護,艙門打開,自動關閉電源。

技術參數

型號 CPC-F CPC-Fplus CPC-FM CPC-FMplus
射頻電源 40KHz 13.56MHz 40KHz 13.56MHz
射頻功率 0-600W 0-150W 0-600W 0-150W
匹配器 自動匹配器 自動匹配器
激發方式 電容式或電感耦合(ICP) 電容式或電感耦合(ICP)
氣體控制 雙浮子流量計 單路?MFC(可選兩路)
艙體尺寸 D200xΦ155mm D200xΦ155mm
艙體材質 不銹鋼或石英玻璃 不銹鋼或石英玻璃
艙體容積 3.8L-5L 3.8L-5L
有效處理尺寸 L200xW155mm L200xW155mm
時間設定 9999 秒 9999 秒
真空泵 抽速?4m3/h 抽速?4m3/h
氣體穩定時間 1 分鐘 1 分鐘
真空度 100pa?以內 100pa?以內
電??源 AC220V 50/60Hz 766/316W AC220V 50/60Hz ?752/302W
產品尺寸 L440xW410xH455mm L440xW410xH455mm
包裝尺寸 L560xW560xH685mm L560xW560xH685mm
整機重量 32kg 32kg

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應用領域

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