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產品分類

勻膠旋涂儀

CIF-MSC/SC1/2勻膠旋涂儀

CIF 推出的旋涂機系列產品轉速穩定、啟動迅速,旋涂均勻,操作簡單,結構緊湊實用,CIF勻膠旋涂儀為實驗室提供了理想的解決方案。
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產品概述 技術參數 產品視頻 應用領域 下載中心 產品報價

產品概述

◆ ?CIF勻膠旋涂儀采用閉環控制伺服電機,數字式增速信號反饋,速勻準確,壽命長,保證勻膠均勻。

◆??7 寸全彩中英文互動操作觸摸屏,智能程序化可編程操控顯示,標配 10 個勻膠梯度階段(速度和時間梯度設置)?,可?選配?20 個可編程程序,每個程序下可設置 10 個勻膠梯度階段,最多 100 個階段。

◆??內置水平校準裝置,大限度的保證旋涂均勻,可對大小不同規格的基片進行旋涂。

◆ ?多重安全保護電磁安全開關,蓋子打開卡盤停止,保證安全;蓋子自鎖功能,防止飛片蓋彈開傷人;

雙重安全上蓋,聚四氟嵌鑲鋼化玻璃,避免單一玻璃或者亞克力上蓋飛片傷人,大限度保證實驗人員安全。

◆ ?樣品托盤卡口和樣品托盤之間三重密封安全保護,有效降低電機進膠的風險。

◆ ?一機兩用,根據不同樣品可選真空吸盤和非真空卡盤兩種旋涂方式。

◆ ?符合人體功能學的水平取放樣品旋涂托盤設計,取放樣品更方便。

◆??不銹鋼噴塑涂層旋涂殼體,旋涂腔體采用?PTFE 材料。旋涂托盤采用聚丙烯(NPP-H)材料,耐酸堿防腐蝕,保證儀器?在苛刻條件下仍能正常運行。

◆ ?上下雙腔體設計,較大的上腔體便于擦拭去除膠液,錐形下腔體結構設計便于收集膠液,并帶廢膠收集裝置。

◆ ?可選氮氣吹掃、氮氣保護,自動滴膠或簡易滴膠裝置,提供更多的操作便利性。

◆ ?CIF勻膠旋涂儀適用硅片、玻璃、石英、金屬、GaAs,GaN,InP 等多種材料。

技術參數

型號 MSC SC1 SC2
轉速 0-10000rpm 0-10000rpm 0-10000rpm
加速度 0-10000rpm/s 0-10000rpm/s 0-10000rpm/s
轉速穩定度 ±1% ±1% ±1%
勻膠時間 0-9999s 0-9999s 0-9999s
工作艙直徑 直徑?180mm 直徑?180mm 直徑?240mm
基片尺寸 圓片?Φ=6 吋,方片最大?105x105mm 圓片?Φ=6 吋,方片最大?105x105mm 圓片?Φ=8 吋,方片最大?140x140mm
外型尺寸 L245xW325xH215mm L245xW325xH285mm L305xW385xH285mm
包裝尺寸 L365xW445xH335mm L365xW445xH405mm L425xW505xH405mm
整機重量 6.3Kg 7.6Kg 11.6Kg

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