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產品分類

透射電鏡樣品桿清洗機

CIF-TEM透射電鏡樣品桿清洗機

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產品概述

CIF 透射電鏡(TEM)樣品桿清洗機采用遠程離子清洗源 設計,清洗快速高效, 低轟擊損傷, 同時可實現常規等離子清洗。透射電鏡樣品桿清洗機主要用于 TEM透射電鏡樣品桿的等離子體清洗和真空檢漏。

◆ ?遠程離子清洗源

◆?一機多用

◆?透射電鏡樣品桿清洗機清洗快速高效,低轟擊損傷

技術參數

產品型號 CIFTEM
等離子電源 13.56MHz 等離子射頻電源,射頻功率 5-150W 可調
遠程等離子源,自動匹配器
清洗室 清洗室尺寸??180xH100mm
清洗數量 可同時清洗?3 支 TEM 樣品桿
適配品牌 美國?THERMO?FISHER(FEI)、日本日立(HITACHI)、日本電子(JEOL)
氣體控制 標配單路質量流量計(MFC)可選雙路。0-500sccm/ 分,自動控制氣體流量,不會受環境溫度和壓力變化影響
氣源選擇 根據需求氧氣、氬氣、氮氣、氫氣等多種清洗氣源選擇
真空控制 皮拉尼真空計,測量范圍?1.0E-5Pa~1E+5Pa
真空保證 真空計和電磁閥安全互鎖
操控方式 7 寸全彩觸摸屏控制,中英文互動操作界面
真空泵 前級泵
抽氣速率?2.5?m3/h
分子泵
極限真空:LF<8*10-6Pa,CF<8*10-7Pa
分子泵抽速?85L/s(N2)
入口法蘭:DN63?ISO-K(LF)/ CF
質量保證 二年質保,終身維護
電?? ?源 AC220V、50/60Hz,300W
產品尺寸 L565xW505xH560mm
包裝尺寸 L715xW655xH820mm
整機重量 68kg

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應用領域

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