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產(chǎn)品分類

西湖未來制造精密填孔設(shè)備

EP400-FH / EP600-FH精密填孔設(shè)備

隨著集成電路技術(shù)的不斷發(fā)展,對于更高集成度、更低功耗、更小封裝體積的需求日益增加。傳統(tǒng)平面的芯片連接方式已無法滿足這些要求,因此需要一種新型的封裝技術(shù)來實(shí)現(xiàn)芯片的垂直堆疊和高效互連。其中,2.5D/3D封裝正在加速3D互連密度的技術(shù)突 破,TSV、TGV、TMWV等技術(shù)作為2.5D/3D封裝的關(guān)鍵,越 來越受到行業(yè)重視。
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產(chǎn)品概述 技術(shù)參數(shù) 產(chǎn)品視頻 應(yīng)用領(lǐng)域 下載中心 產(chǎn)品報價

產(chǎn)品概述

西湖未來智造]EP400-FH/EP600-FH精密填孔設(shè)備采用微納直寫打印電子增材技術(shù),結(jié) 合自研陣列式可調(diào)多打印頭模組,可 實(shí)現(xiàn)TSV、TGV、TMV等精密互聯(lián)孔的金屬化。用戶可直接根據(jù)CAD信息軟件驅(qū)動設(shè)備進(jìn)行填孔加工作業(yè),替 代傳統(tǒng)電鍍工藝,簡化加工 步驟,加快產(chǎn)品迭代,適用于多品種、小批量的產(chǎn)品加工場景。互聯(lián)孔內(nèi)所填充導(dǎo)電漿料為微納米銀漿、銅漿等金屬導(dǎo)電漿料。

設(shè)備特點(diǎn)

互聯(lián)孔無需預(yù)先沉積種子層;

環(huán)境友好型工藝(替代電鍍工序);

支持DXF等加工圖紙一鍵導(dǎo)入,軟件驅(qū)動自動化加工;

低至200℃的燒結(jié)溫度,適配PCB基、硅基、玻璃基等多種導(dǎo)通互聯(lián)場景;

自研精密微型針頭支持盲孔、通孔填充;

自研高固含量導(dǎo)電漿料,與孔壁結(jié)合緊密,致密度高;

支持最大12寸加工幅面;

應(yīng)用場景

TSV、TGV、TMV孔垂直互聯(lián)金屬化,采用金屬漿料填充方案替代傳統(tǒng)電鍍工藝,適用于小批量孔槽填充。無需預(yù)先加工種子層,導(dǎo)電填充材料可穩(wěn)定黏附孔壁并通過可靠性測試。

工藝方案

填充材料為金屬導(dǎo)電漿料或樹脂油墨,打印方式為氣動擠出式打印,將打印針頭插入孔內(nèi)部后進(jìn)行材料擠出,逐步抬升打印針頭使孔內(nèi)填充完全。

技術(shù)參數(shù)

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