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CIF 刻蝕機

RIE反應離子刻蝕機

CIF 推出 RIE 反應離子刻蝕機,采用 RIE 反應離子誘導激發方式,實現對材料表面各向異性的微結構刻蝕。特別適合于大學、科研院所,微電子、半導體企業實驗室進行介質刻蝕、硅刻蝕、金屬刻蝕等方面研究。使用成本低,性價比高,易維護,處理快速高效。RIE反應離子刻蝕機適用于所有的基材及復雜的幾何構形進行 RIE 反應離子刻蝕。
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產品概述 技術參數 產品視頻 應用領域 下載中心 產品報價

產品概述

◆ ?7 寸彩色觸摸屏中英文互動操作界面,自動控制監測工藝參數狀態,20 個配方程序,工藝數據可存儲追溯。

◆ ?PLC 工控機控制整個清洗過程,手動、自動兩種工作模式。

◆ ?真空艙體、全真空管路系統采用?316 不銹鋼材質,耐腐蝕無污染。

◆ ?采用防腐數字流量計,??實現對氣體輸入精準控制。標配雙路氣體輸送系統,?可選多氣路氣體輸送系統,?可輸入氧氣、氬氣、?氮氣、四氟化碳、氫氣或混合氣等氣體。

◆ ?采用花灑式多孔進氣方式,改變單孔進氣不均勻問題。

◆ ?HEPA 高效過濾,氣體返填吹掃,防止二次污染。

◆ ?符合人體功能學的?60 度傾角操作界面設計,操作方便,界面友好。

◆ ?采用頂置真空艙,上開蓋設計,下壓式鉸鏈開關方式。

◆ ?上置式?360 度水平取放樣品設計,符合人體功能學,操作更方便。

◆ ?有效處理面積大,可處理最大直徑?154mm 晶元硅片。

◆ ?安全保護,艙門打開,自動關閉電源,機器運行、停止提示。

CIF 推出 RIE 反應離子刻蝕機,采用 RIE 反應離子誘導激發方式,實現對材料表面各向異性的微結構刻蝕。特別適合于大學、科研院所,微電子、半導體企業實驗室進行介質刻蝕、硅刻蝕、金屬刻蝕等方面研究。使用成本低,性價比高,易維護,處理快速高效。RIE反應離子刻蝕機適用于所有的基材及復雜的幾何構形進行 RIE 反應離子刻蝕。
具體包括:
◆ 介電材料(SiO2、SiNx 等)
◆ 硅基材料(Si,a-Si,poly Si)
◆ ?III-V 材料(GaAs、InP、GaN 等)
◆ 濺射金屬(Au、Pt、Ti、Ta、W 等)
◆ 類金剛石(DLC)
?應用領域:

RIE反應離子刻蝕機主要用于微電子芯片、太陽能電池、生物芯片、顯示器、光學、通訊等領域的器件研發和制造。

技術參數

型號 RIE200 RIE200plus
艙體內尺寸 H38xΦ260mm H38xΦ260mm
艙體容積 2L 2L
射頻電源 40KHz 13.56MHz
電極 不銹鋼氣浴?RIE?電極,??Φ200mm 不銹鋼氣浴?RIE?電極,??Φ200mm
匹配器 自動匹配 自動匹配
刻蝕方式 RIE RIE
射頻功率 0-600W 可調(可選 0-1000W) 0-300W 可調(可選 0-600W)
氣體控制 質量流量計(MFC)(標配雙路,可選多路)流量范圍?0-500SCCM(可調)
工藝氣體 Ar、N ?、O ?、H ?、CF4、CF4+?H2、CHF3 或其他混合氣體等(可選)
最大處理尺寸 Φ154mm
產品尺寸 L520xW600xH420mm
包裝尺寸 L700xW580xH490mm
時間設定 9999 秒
真空泵 抽速約?8m3/h
氣體穩定時間 1?分鐘
極限真空 ≤1Pa
電源 AC220V 50-60Hz,802(1202)502(802)W?所有配線符合《低壓配電設計規范

GB50054-95》、《低壓配電裝置及線路設計規范》等國標標準相關規定。

整機重量 38kg

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