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產(chǎn)品概述

NX-B100/B200整片基板納米壓印系統(tǒng)經(jīng)過了大量的實時實地驗證，質(zhì)量可靠，性能優(yōu)越穩(wěn)定。具備全部壓印模式：熱固化、紫外固化和壓印。基于獨特專利保護(hù)的Nanonex氣墊軟壓技術(shù)（ACP），不論模版或基板背面粗糙程 度如何，或是模版或基板表面波浪和弧形結(jié)構(gòu)，NX-B100/B200均可對其校 正補償從而獲得無與倫比的壓印均勻性， ACP消除了基板與模版之間側(cè)向偏移，有效地延長了模版使用壽命。通過微小熱容設(shè)計可獲得快速的熱壓印周 期，最終得到快速的工藝循環(huán)，適用于小于4英寸的晶圓片。

所有形式的納米壓印
? 熱塑化
? 紫外固化 (NX-B200)
? 熱壓與紫外壓印同時進(jìn)行(NX-B200)
? 熱固化
氣墊軟壓技術(shù)(ACP)
? Nanonex專利技術(shù)
? 完美的整片基板納米壓印均勻性
? 高通量
低于10nm分辨率
快速工藝循環(huán)時間（小于60秒） 靈活性
? 最大75毫米直徑壓印面積 ? 各種尺寸及不規(guī)則形狀模
板與基板均可壓印
方便用戶操作
基于超過12年、15代產(chǎn)品開發(fā) 經(jīng)驗的自動化壓印操作
Nanonex壓印系統(tǒng)經(jīng)過大量實 時實地驗證，質(zhì)量可靠，性 能優(yōu)越穩(wěn)定
全自動納米壓印

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品視頻

應(yīng)用領(lǐng)域

納米電子和光電子、顯示器、數(shù)據(jù)存儲介質(zhì)、先進(jìn)材料、 生物科技、納米流道等

下載中心

產(chǎn)品介紹

產(chǎn)品報價