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產(chǎn)品概述

1、結(jié)構(gòu)：
* NPP-H（具有α晶的天然聚丙烯）的耐腐蝕結(jié)構(gòu)）為整個(gè)系統(tǒng)提供更好的剛性和韌性
*高品質(zhì)無(wú)縫制造表面，全工程塑料
*適用于通風(fēng)柜和雜物箱
*最大處理室直徑：202毫米

2、數(shù)字電機(jī)控制：
*具有數(shù)字增量速度信號(hào)的數(shù)字實(shí)時(shí)閉環(huán)控制伺服電機(jī)反饋
*提供高精度的轉(zhuǎn)速（±0.1 rpm）和寬范圍的轉(zhuǎn)速（1至12,000 rpm），這是傳統(tǒng)PID電機(jī)控制器無(wú)法實(shí)現(xiàn)的

3、透明蓋：
淬火的透明玻璃瓶蓋，帶有注射器支架和N2擴(kuò)散器，可在處理過(guò)程中進(jìn)行N2吹掃
*注射器支架可幫助用戶(hù)始終在期望的相同位置和位置分配抗蝕劑/化學(xué)物質(zhì)
*控制室環(huán)境對(duì)于恒定的過(guò)程結(jié)果至關(guān)重要
*堅(jiān)固的自彈式蓋鉸鏈，可自動(dòng)將蓋保持在最佳狀態(tài)，以便輕松搬運(yùn)和卸下基板；同時(shí)確保蓋子上的任何殘留化學(xué)物質(zhì)都流入系統(tǒng)排水口
*透明蓋清晰可見(jiàn)內(nèi)部

4、安全聯(lián)鎖：
*Process Chambe Lid始終為所有用戶(hù)安全鎖定，并且僅在單擊蓋子打開(kāi)顯示圖標(biāo)時(shí)才能打開(kāi)
*電磁蓋聯(lián)鎖在打開(kāi)時(shí)停止旋轉(zhuǎn)，而真空聯(lián)鎖（可編程）在沒(méi)有足夠真空或沒(méi)有真空的情況下停止旋轉(zhuǎn)
*防止傷害使用者并避免基材破裂

5、連接：
*三個(gè)可編程繼電器輸出，可用于操作自動(dòng)分配系統(tǒng)，外部閥或其他附件。
*多種夾頭可供選擇，用于直徑最大為160 mm的不同尺寸的基板
*制氮過(guò)程中的氮?dú)鈹U(kuò)散器
6、可拆卸控制器：可拆卸的全尺寸觸摸屏，手套防護(hù)，IP 52，耐化學(xué)腐蝕
7、彩色觸摸屏顯示：可輕松編程速度，加速度和時(shí)間
8、無(wú)限程序存儲(chǔ)：可用于多個(gè)步驟的配方，每個(gè)配方均適用于：
*時(shí)間：0.1至99999秒/步
*速度：0至12,000 rpm
*旋轉(zhuǎn)方向：順時(shí)針，逆時(shí)針，攪動(dòng)
*加速/減速：1至30,000 rpm / sec（每步可選）
*真空開(kāi)/關(guān)
*3個(gè)可編程的干觸點(diǎn)：例如用于分配單元，氮?dú)鈹U(kuò)散器等的自動(dòng)控制
9、USB端口：可輕松上傳和下載配方以及更新軟件版本
10、存儲(chǔ)：結(jié)構(gòu)化和受密碼保護(hù)的方案存儲(chǔ)，可輕松安全地進(jìn)行管理

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品視頻

應(yīng)用領(lǐng)域

廣泛應(yīng)用于電子、半導(dǎo)體、醫(yī)療器械等領(lǐng)域的甩干，沖洗，清潔，涂膠等。

下載中心

產(chǎn)品報(bào)價(jià)